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拋光機拋光對象平面度誤差的測量方法

發布時間:2019-08-30發布人: Stabswache

  平面度誤差的測量方法可分為直接測量法和間接測量法。直接測量法是將被測的實際表面與理想表面直接進行比較兩者之間的線值距離即為該被測表面的平面度誤差值間接測量法則是通過測量實際表面上若干點相對測量基準的高度差或傾斜角作為原始數據,然后再換算為以線值表示的平面度誤差。
  在自然界中,可以用一小塊液體表面作為一種水平儀自然的平面,但要獲得這樣的平面必須克服氣流和振動造成的起伏和由于表面張力造成的邊緣效應;要有較嚴格的工作環境。
  常見的平面度測量方法如圖108所示。圖a是用指示表測量,將被測零件支承在平板上,將被測平面上相距***遠的三點調成距測量平板等高。按一定布點測量被測表面。指示表上***大與***小讀數之差即為該平面的平面度誤差值
  圖b是用平晶測量平面度誤差。將平晶緊貼在被測平面上,由產生的干涉條紋,經過計算得到平面度誤差值。此方法適用于高精度的小平面。
  圖c是水平儀測平面度誤差。水平儀通過橋板。用放在被測平面上,用水平儀按一定的布點和方向逐點測量。經過計算得到平面度誤差值
  用自準直儀和反射鏡測量如圖d所示,將自準直儀固定在平面外的一定位置。反射鏡放在被測平面上。調整自準直儀,使其和被測表面平行,按一定布點和方向逐點測量。經過計算得到平而度誤差值。
 

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